** 錯誤 129014 ** 氣體射出時間為負。請在 製程設定中輸入適當的值,並重新執行 分析。
其中一個氣體注入口的氣體射出時間無效。
若要檢視每一個氣體注入口的氣體輔助射出控制器設定,請在氣體注入口符號上按一下右鍵,並選取「性質」。按一下「氣體注入口」對話方塊中的「編輯...」。如果您已選取依「氣體體積控制器」的氣體射出控制,請按一下「編輯控制器設定...」並修正「氣體射出時間」的輸入。如果您已選取依「氣體壓力控制器」的氣體射出控制,請按一下「編輯控制器設定...」並修正表格中的「時間」的輸入。