「聚合物表層，半間隙厚度 (頂部)」結果提供了對於元素頂側聚合物表層厚度的測量。
此結果產生自使用中間平面分析技術的「氣體輔助充填與保壓」分析。
對於沒有壓縮氣體滲透的實體聚合物部分，值等於三角形元素的半間隙厚度，或 1D (流道元素) 的半徑。
對於氣體已經滲透的挖空部分，此變數等於半間隙厚度或半徑乘以聚合物表層比率值。