** 오류 99661 ** 사출압에 따른 보압 절환 값이 0 또는 (-)입니다. 공정 설정을 확인하고 해석을 다시 실행합니다.
사출압에 따른 보압 절환 값이 0 또는 (-)입니다. 사출압이 이 값을 초과하면 공정이 유량(램 속도) 제어에서 보압/유지 압력 제어로 절환됩니다.
해석 > 공정 설정 마법사를 클릭하고 보압 절환 사출압에 따름에 (+) 값을 입력하십시오.