** 경고 128034 ** 보압/유지 시간이 사용되지 않습니다.
가스 사출 컨트롤러 대화상자에서 자동 가스 사출 제어를 선택했는데, 이는 가스 사출이 보압 절환 즉시 시작되며, 고분자 사출 보압 단계를 거치지 않는다는 의미입니다. 따라서 공정 설정의 보압/유지 시간 값이 사용되지 않습니다.
해석 > 공정 설정 마법사를 선택하고 보압 프로파일 또는 가스 사출 제어를 조정하십시오.