Quando captura um plano utilizando mais do que três pontos capturados, o PowerInspect cria um plano de melhor ajuste (P1) que minimiza os desvios de todos os pontos. Cria então dois planos paralelos (P2 e P3) através dos pontos mais afastados nas direções positiva e negativa, e a distância entre P2 e P3 (F) é reportada como a Planicidade do plano. Se essa distância for maior que o valor Máximo, a planicidade é reportada como estando fora da tolerância.
