Quando si rileva un piano utilizzando più di tre punti rilevati, PowerInspect crea un piano Best-fit (P1) che minimizza le deviazioni di tutti i punti. Successivamente traccia due piani paralleli (P2 e P3) attraverso i punti più lontani in direzione positiva e negativa e la distanza tra P2 e P3 (F) è indicata come la planarità del piano. Se tale distanza è maggiore del valore massimo, la planarità sarà fuori tolleranza.